多晶硅坩埚烧结炉（6工位）主要性能规范

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在多晶硅坩埚烧结炉的生产应用过程中,通过两台台车进行快速装卸炉,一台台车在炉外装料,一台台车在炉内工作,交替更换,节省时间,提高效率。

通过plc多区温度控制系统对经过计算机优化设计的炉内热场温度进行控制，可以缩短整个生产工作流程时间，提高炉内热场的温度均匀性和控温精度。

●   plc多区温度控制系统可以贮存多个常用的生产工艺，方便用户

●   最高工作温度1250℃

●   带有底部通风装置的双炉壁炉膛冷却结构，因此外壁温度更低

●   右侧限位的推拉门

●   五侧加热装置（四侧和台车）将会获得良好的温度均匀性

●   台车加热装置在工作时将会通过安装在两侧下部的热电偶获得温度均匀性的控制

●   台车加热装置在工作时将会通过炉后壁插头触点获得电压

●   加热元件安装在支撑管上，因此可以确保加热电阻丝的自由辐射，增加其使用寿命

●   底部加热装装置通过台车上的碳化硅板保护，因此可以确保堆垛平整

●   由轻质耐火砖和特殊背衬耐温材料制成的多层隔热保温结构，提高了保温性能，减少了保温层厚度

●   顶部采用拱形自支撑，最高耐温可以1440度，顶面采用多层隔热材料

●   台车配有橡胶轮，行驶方便

●   自动调控的进气阀

●   在炉顶内设有手自两体排气

●   温度选择限制器，可设置断电温度，用于对炉子和产品进行过温保护

另有2工位多晶硅烧结炉    4工位多晶硅烧结炉

点击查看：国标电炉技术参数

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